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手套箱適用離子濺射儀與傳統離子濺射設備相比有哪些特點(diǎn)?

發(fā)布時(shí)間: 2024-09-14  點(diǎn)擊次數: 319次
  手套箱適用離子濺射儀是一種結合了手套箱技術(shù)的離子濺射設備。其核心原理是利用高能粒子轟擊靶材,使靶材表面的原子或分子獲得足夠的能量并脫離靶材,隨后在基片上沉積形成薄膜。
 

 

  與傳統離子濺射設備相比,手套箱適用離子濺射儀具有以下顯著(zhù)特點(diǎn):
  1.高度集成化:將離子濺射系統與手套箱技術(shù)相結合,實(shí)現了設備的一體化設計。這種設計不僅簡(jiǎn)化了操作流程,還減少了外界環(huán)境對設備性能的影響。
  2.高真空度:手套箱內部可以保持高真空度,有效避免了空氣中的氧氣、水蒸氣等雜質(zhì)對鍍膜過(guò)程的干擾,提高了鍍膜質(zhì)量。
  3.精確控制:配備了先進(jìn)的控制系統,可以精確控制離子束的能量、角度和流量等參數,從而實(shí)現對鍍膜過(guò)程的精確控制。
  4.廣泛適應性:該設備適用于各種類(lèi)型的基片和靶材,如金屬、半導體、陶瓷等,且不受基片形狀和尺寸的限制。
  5.安全可靠:手套箱的設計有效防止了有害物質(zhì)的泄漏,保障了操作人員的安全。同時(shí),設備還配備了多種安全保護功能,如過(guò)流保護、過(guò)熱保護等。
  使用手套箱適用離子濺射儀進(jìn)行鍍膜時(shí),需要遵循以下步驟:
  1.準備工作:根據實(shí)驗需求選擇合適的基片和靶材,并進(jìn)行必要的預處理。同時(shí),檢查手套箱內部的清潔度和真空度是否符合要求。
  2.安裝設備:將離子濺射系統安裝在手套箱內部,并連接好電源和信號線(xiàn)。注意確保設備安裝牢固可靠,避免在后續操作中出現晃動(dòng)或脫落。
  3.抽真空:?jiǎn)?dòng)手套箱的真空泵系統,將內部空氣抽出至高真空狀態(tài)。在此過(guò)程中,可以通過(guò)觀(guān)察窗觀(guān)察手套箱內部的情況,確保無(wú)異常情況發(fā)生。
  4.設定參數:根據實(shí)驗要求設定離子束的能量、角度和流量等參數。這些參數可以通過(guò)設備的控制系統進(jìn)行精確調節。
  5.開(kāi)始鍍膜:?jiǎn)?dòng)離子濺射系統,使高能粒子轟擊靶材并在基片上沉積形成薄膜。在此過(guò)程中,可以通過(guò)觀(guān)察窗實(shí)時(shí)觀(guān)察鍍膜情況,并根據需要調整參數以?xún)?yōu)化鍍膜效果。
  6.結束鍍膜:當達到預定的鍍膜厚度或時(shí)間后,停止離子濺射系統的運行。關(guān)閉真空泵系統并緩慢恢復手套箱內部的壓力至常壓狀態(tài)。最后取出樣品并進(jìn)行后續處理和分析。

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